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齒(chǐ)輪泵流作用(yong)失靈

2025-12-21  來自: 陝(shan)西威海雅迈(mài)半导体制造(zao)有限责任公(gōng)司(H5网站) 浏覽(lan)次數:559

    ①定差減(jiǎn)壓閥閥芯長(zhǎng)死在全閉或(huò)小開度位置(zhi),使出油腔(P2)無(wu)油或極少油(yóu)液通過節流(liu)閥(圖6-133)。此時應(yīng)拆洗和去毛(mao)刺,使減壓閥(fá)芯能靈活移(yí)動。②調速閥進(jin)出油口接反(fǎn)了,齒輪泵會(hui)使減壓閥芯(xīn)總趨于關閉(bì),造成節流作(zuò)用失靈。Q型、QF型(xíng)閥由于安裝(zhuang)面的各孔為(wéi)對稱的,很容(róng)易裝錯。一般(ban)闆式調速閥(fá)的底面上,在(zài)各油口處标(biao)有P1(進口)與P2(出(chū)口口)聲樣,仔(zǎi)細辨認,不可(ke)接錯。進口調(diào)速閥的底面(miàn)上有定位銷(xiāo)難以裝錯方(fang)向。③調速閥進(jìn)口與出口壓(yā)力差太小,産(chan)生流量調節(jiē)失靈。對Q型速(sù)閥,進口壓力(li)要大于出口(kou)壓力O.5MPa,對QF型閥(fa)進口壓力要(yao)大于出口壓(ya)力IMP。此時, 方可(kě)進行流量調(diào)節。調好的輸(shū)出流量不穩(wěn)定定壓差減(jiǎn)壓閥閥芯(圖(tu)6-134)被污物卡住(zhu)。可拆開該閥(fa)端部螺塞,從(cóng)閥套中抽出(chū)減壓閥芯,進(jìn)行去毛刺清(qīng)洗及精度檢(jian)查,特别要注(zhu)意減壓閥芯(xīn)的大小頭是(shì)否同心,不良(liang)者予以修複(fu)和更換。②定壓(yā)差減壓閥閥(fá)芯小孔a被阻(zǔ)塞或閥套上(shàng)的小孔乒被(bei)污物塞死,使(shi)節流閥閥芯(xīn)進出口的壓(ya)差Ap不恒定而(ér)使流量不穩(wěn)定。此時可用(yòng)~lmm細鋼絲穿通(tōng)閥套及閥芯(xīn)上的反饋小(xiǎo)孔,或用壓縮(suo)空氣吹通。進(jin)出油口易接(jiē)反。④單向調速(su)閥中的單向(xiang)閥閥芯與閥(fá)座接觸處不(bu)密合,存在内(nei)漏。⑤漏裝了減(jian)壓閥的彈簧(huáng),或者彈簧折(she)斷和裝錯。可(kě)予以補裝或(huò)更換。⑥調速閥(fá)的内外洩漏(lòu)量大導緻流(liu)散不穩定。應(yīng)治理洩漏。⑦進(jìn)出油口接反(fan),使調速閥如(ru)同一般節流(liu)閥而無壓力(lì)反饋補償作(zuò)用。國産調速(su)閥安裝面上(shàng)無定位銷要(yao)特别注意不(bú)要讓進出油(yóu)口接反了。【故(gù)障5】  調速閥出(chu)口無流量輸(shu)出,執行元件(jiàn)不動作①節流(liu)閥閥芯卡住(zhù)在關閉位置(zhi)。可拆開清洗(xi)。②定壓差減壓(yā)閥閥芯卡在(zài)關閉位置。可(kě)拆開清洗。故(gù)障原因和排(pái)除方法同節(jie)流閥。

 


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